更新時間：2025-12-03
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M3030A質量流量控制器
一、M3030A質量流量控制器產品特點
二、技術參數
| 型號 | 質量流量計 | 質量流量控制器 |
| 流量范圍(N2) | 10SCCM~1000SLPM | 10SCCM ~ 300slpm |
| 響應時間 | <2 sec | <2 sec |
| 精準度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
| 重復精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
| 輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
| 供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
| 耐壓 | <90bar | 0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
| 工作環境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
| 漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
| 使用范圍 | 2 ~ 100% | 2~ 100% |
三、接口尺寸
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